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Este instrumento fue inventado en Alemania por el físico
Ruska en 1931. La óptica electrónica había
sido construida por el físico alemán Busch en 1924.
El microscopio se patentó en 1932, un año más
tarde Ruska y Knoll obtenían aumentos de 12.000 con una
resolución de 40 nanómetros. Estos modelos experimentales
eran aún muy imperfectos, y sólo después de
la II Guerra Mundial se superaron los problemas técnicos
del microscopio y de los cortes de tejido. El microscopio electrónico
de fines del siglo XX tiene una resolución del orden de
1.000 veces la del microscopio de luz (0,2 y 200 nanómetros,
respectivamente).
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